上海申弘閥門有限公司
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電子工業(yè)用超純水快裝氮封閥應用案例
半導體、集成電路芯片及封裝、液晶顯示、化工行業(yè)、高精度線路板、光電器件、各種電子器件、微電子工業(yè)、大規(guī)模、超大規(guī)模集成電路需用大量的高純水、超純水清洗半成品、成品。集成電路的集成度越高,對水質的要求也越高。目前我國電子工業(yè)部把電子級水質技術分為五個行業(yè)標準,分別為18MΩ.cm、15MΩ.cm、10MΩ.cm、2MΩ.cm、0.5MΩ.cm,以區(qū)分不同水質。用兩級反滲透制取電子工業(yè)超純水處理設備 采用兩級反滲透主機加EDI 制取電子工業(yè)超純水處理設備該類安全設備需根據(jù)被保護設備、系統(tǒng)的具體工況參數(shù)進行計算選型以更好地發(fā)揮保護作用,選定型號后方可進行報價,為保證使用,請盡早通過在線咨詢、熱線電話、在線留言、郵件等方式和我們聯(lián)系,工作人員會安排相應區(qū)域的銷售工程師免費為您提供計算選型、報價及其他技術支持服務,幫您快速選擇合適的產(chǎn)品并盡快為您安排發(fā)貨或生產(chǎn)排期。
電子工業(yè)用超純水快裝氮封閥應用案例工作原理
氮封閥用來調節(jié)儲罐頂部惰氣體層的壓力。氮封閥感應儲罐內的壓力并在壓力降到低于設定壓力時打開,以使惰性氣體流入。在壓力回升至設定壓力時,閥門關閉并停止,阻止惰性氣體繼續(xù)流入。氮封閥必須有三個外部接口,一個接口連接閥門和儲罐,測量儲罐壓力,第二個接口連接惰性氣體和閥門,惰性氣體供應囗。第三個接囗連接閥門的出囗和儲罐,為儲罐提供惰性氣體。
電子工業(yè)用超純水快裝氮封閥應用案例注意事項
1、氮封閥裝置必須可靠,惰性氣體有足量的供應。如果閥門損壞,供應不足,將會導致儲罐內的氧氣濃度偏高,而氧氣將會和蒸發(fā)介質混合產(chǎn)生可燃物質
2、應該以有效輸送的方式將惰性氣體引入到罐槽中。
3、必須防止任何來源的惰性氣體污染。任何惰性系統(tǒng)應該帶有適當?shù)某凉裨O備,以將濕度維持在絕對極小值之內。制備電子工業(yè)用超純水的工藝流程
主要用于保持容量頂部保護氣(一般為氮氣)的壓力恒定,以避免容量內物料與空氣直接按觸,防止物料揮發(fā)、被氧化,以及容器的安全。特別適用于各類大型儲罐的氣封保護系統(tǒng)。該產(chǎn)品具有節(jié)能、動作靈敏、運行可靠、操作與維修方便等特點。氮封閥被廣泛應用于石油、化工等行業(yè)。超純水設備通常由多介質過濾器,活性碳過濾器,鈉離子軟化器、精密過濾器等構成前期預處理系統(tǒng)、RO反滲透主機系統(tǒng)、離子交換混床(EDI電除鹽系統(tǒng))系統(tǒng)等構成主要設備系統(tǒng)。水箱均設有液位控制系統(tǒng)、水泵均設有壓力保護裝置、在線水質檢測控制儀表、電氣采用PLC可編程控制器,真正做到了無人職守,同時在工藝選材上采用推薦和客戶要求相統(tǒng)一的方法,使設備與其它同類產(chǎn)品相比較,具有更高的性價比和設備可靠性。采用碳鋼多級離子交換還未裝入樹脂的去離子設備制取電子工業(yè)超純水處理
電子工業(yè)用超純水的應用領域
1、半導體材料、器件、印刷電路板和集成電路;
2、超純材料和超純化學試劑;
3、實驗室和中試車間;
4、汽車、家電表面拋光處理;
5、光電產(chǎn)品;
二、電子工業(yè)用超純水快裝氮封閥應用案例產(chǎn)品特點:
1、無需外加能源,能在無電、無氣的場合工作,既方便,又節(jié)約能源,降低成本;
2、氮封裝置供氮、泄氮壓力設定方便,可在連續(xù)生產(chǎn)的條件下進行;
3、壓力檢測膜片有效面積大,設定彈簧剛度小,動作靈敏,裝置工作平穩(wěn);
4、采用無填料設計,閥桿所受磨擦力小,反應迅速,控制精度高;
5、供氮裝置采用指揮器操作,減壓比可達100:1,減壓效果好,控制精度高;
6、為確保儲罐的安全,需在罐頂設置呼吸閥;
7、呼吸閥僅起安全作用,避免了常規(guī)氮封裝置中啟閉頻繁易損壞的缺陷。
三、電子工業(yè)用超純水快裝氮封閥應用案例結構與工作原理:
氮封裝置是由供氮裝置和泄氮裝置兩部分組成。供氮裝置由指揮器和主閥兩部分組成;泄氮裝置由反饋的壓開型微壓調節(jié)閥組成。氮氣壓力一般設為100mmH2O,通過氮封裝置精確控制。
當儲罐進液閥開啟,向罐內添加物料時,液面上升,氣相部分容積減小,壓力升高,當罐內壓力升至高于泄氮裝置壓力設定值時,泄氮裝置打開,向外界釋放氮氣。使罐內壓力下降,降至泄氮壓力設定點時,泄氮裝置自動關閉。
當儲罐出液閥開啟,用戶放料時,氣相部分容積增大,罐內壓力降低,供氮裝置開啟,向儲罐注入氮氣,使罐內壓力上升,當罐內壓力上升至供氮裝置自動關閉。
序號 | 品 名 | 型 號 及 規(guī) 格 | 單位 | 數(shù)量 | 單 價 (元) | 金 額 (元) | 閥體材質及其它 |
1 | 氮封閥 | 氮封閥ZZYVP-II DN25 PN16 進口壓力 0.1-0.5 MPA, 出口壓力1 KPA 快卡接口連接 | 臺 | 1 | SUS304不銹鋼 詳細要求見附件 | ||
2 | 泄氮閥 | 泄氮閥ZXD-16 DN25 PN16起跳壓力1.5 KPA 快卡接口連接 | 臺 | 1 | SUS304不銹鋼 詳細要求見附件 | ||
3 | 呼吸閥 | 阻火呼吸閥HXF-IV DN25 PN10 正壓:2KPA 負壓:-800PA快卡接口連接連接 | 臺 | 1 | SUS304不銹鋼 詳細要求見附件 |
四、電子工業(yè)用超純水快裝氮封閥應用案例技術參數(shù)及性能指標:
公稱通徑DN(mm) | 25 | 32 | 40 | 50 | 65 | 80 | 100 | ||||||||
閥座直徑dn(mm) | 5 | 6 | 7 | 8 | 10 | 12 | 15 | 20 | 25 | 32 | 40 | 50 | 65 | 80 | 100 |
額定流量系數(shù)Kv | 0.2 | 0.32 | 0.5 | 0.8 | 1.8 | 2.8 | 4.4 | 6.9 | 11 | 20 | 30 | 48 | 75 | 120 | 190 |
額定行程L(mm) | 8 | 10 | 14 | 20 | 25 | ||||||||||
流量特性 | 快開 | ||||||||||||||
壓力調節(jié)范圍(kPa) | 0.4~5.5、5~10、9~14、13~19、18~24、22~28 27~33、31~38、36~44、42~51、49~58、56~66 | ||||||||||||||
公稱壓力PN(MPa) | 1.6 2.5 4.0 | ||||||||||||||
被調介質溫度(℃) | ≤80 | ||||||||||||||
調節(jié)精度(%) | ±5% | ||||||||||||||
允許泄漏等級 | 標準級:Ⅳ級(GB/T4213-92) 嚴密型:Ⅵ級(GB/T4213-92) |
電子工業(yè)用超純水快裝氮封閥應用案例電子行業(yè)制備超水的工藝大致分成以下幾種:
1、采用離子交換樹脂制備超純水的傳統(tǒng)水處理方式,其基本工藝流程為:原水→沙炭過濾器→精密過濾器→原水箱→陽床→陰床→混床(復床)→純水箱→純水泵→后置精密過濾器→用水點
2、采用反滲透水處理設備與離子交換設備進行組合的方式,其基本工藝流程為:原水→沙炭過濾器→精密過濾器→原水箱→反滲透設備→混床(復床)→純水箱→純水泵→后置精密過濾器→用水點
3、采用反滲透水處理設備與電去離子(EDI)設備進行搭配的的方式,這是一種制取超純水的最新工藝,也是一種環(huán)保,經(jīng)濟,發(fā)展?jié)摿薮蟮某兯苽涔に?,其基本工藝流程為:原水→沙炭過濾器→精密過濾器→原水箱→反滲透設備→電去離子(EDI)→純水箱→純水泵→后置精密過濾器→用水點離子多級離子交換樹脂 采用反滲透加EDI電去離子 制取電子工業(yè)超純水處理 制取電子工業(yè)超純水處理
電子工業(yè)用超純水快裝氮封閥應用案例三種制備電子工業(yè)用超純水的工藝比較
目前制備電子工業(yè)用超純水的工藝基本上是以上三種,其余的工藝流程大都是在以上三種基本工藝流程的基礎上進行不同組合搭配衍生而來?,F(xiàn)將他們的優(yōu)缺點分別列于下面:
1、第一種采用離子交換樹脂其優(yōu)點在于初投資少,占用的地方少,但缺點就是需要經(jīng)常進行離子再生,耗費大量酸堿,而且對環(huán)境有一定的破壞。
2、第二種采用反滲透作為預處理再配上離子交換設備,其特點為初投次比采用離子交換樹脂方式要高,但離子設備再生周期相對要長,耗費的酸堿比單純采用離子樹脂的方式要少很多。但對環(huán)境還是有一定的破壞性。
3、第三種采用反滲透作預處理再配上電去離子(EDI)裝置,這是目前制取超純水用來制取超純水的工藝,不需要用酸堿進行再生便可連續(xù)制取超純水,對環(huán)境沒什么破壞性。其缺點在于初投資相對以上兩種方式過于昂貴。
我們公司生產(chǎn)的電子超純水設備特點
設備通常由多介質過濾器,活性碳過濾器,鈉離子軟化器、精密過濾器等構成前期預處理系統(tǒng)、RO反滲透主機系統(tǒng)、離子交換混床(EDI電除鹽系統(tǒng))系統(tǒng)等構成主要設備系統(tǒng)。水箱均設有液位控制系統(tǒng)、水泵均設有壓力保護裝置、在線水質檢測控制儀表、電氣采用PLC可編程控制器,真正做到了無人職守,同時在工藝選材上采用推薦和客戶要求相統(tǒng)一的方法,使設備與其它同類產(chǎn)品相比較,具有更高的性價比和設備可靠性。